중소형 OLED 검사에 사용되는 AOI(automated optical inspection) 장비는 제품에 빛을 조사하여 그 반사되는 빛의 광량의 차이를 통해 결함의 유무를 분석하는 비접촉 검사장비다. AOI 장비는 반복되는 패턴의 비교를 통해 차이를 인지하여 패턴 불량을 검출 할 뿐만 아니라 mask 이물과 LLO(laser lift off) 공정 전후로 기판 이물의 검출도 가능하다.