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[Finetech Japan 2017] V-technology, Disclosure of FHM, feasible UHD of 738ppi

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Reporter : Hana Oh(HanaOh@ubiresearch.com)

 

V-technology has released of FHM(Fine Hybrid Mask) which can realize UHD of 738ppi in Finetech Japan 2017 held on 5th.

 

The existing FMM is made by braiding and welding. However, this method is not only difficult to manufacture, but also has difficulty in realizing a high resolution due to the structural limitations of mask such as pattern (hole) and deflection due to its own weight.

 

In Finetech Japan 2015, V-technology had released the concept of FMM which had improved these disadvantages. Two years later, however, it has released mass-producible a prototype of FHM (Fine Hybrid Mask) beyond the concept in 2017.

<Non-tension structured fine hybrid mask of V-technology>

FHM of V-technology adopted a different electroforming and non-tension structure than the existing FMM manufacturing method. The person concerned mentioned that this reduced the weight of the FMM to 1/10 level of that of the existing one, and solved the problem of the mask bending due to its own weight and shadow interference caused by it. Also, added that by changing the manufacturing process, the accuracy of the FMM could be increased and enabled a 738ppi UHD implementation.

 

V-technology has introduced the concept of Vertical deposition system which can utilize FHM in addition to FHM. This system can transport the glass substrate and FHM vertically, simultaneous deposition is possible by putting up to 2 pieces of glass substrate and FHM respectively.

Also, a V-technology official noted that the vertical deposition system reduced the spacing between source and FHM and improved step coverage and uniformity degradation due to diffuse light, and said that yield improvement is possible since it is difficult to attach the particles to the FHM or glass substrate due to the vertical type of deposition equipment.

<Concept of Vertical deposition system of V-technology>

Recently, consumers’ needs for high resolution is increasing, and as the industry is actively moving to meet this demand, attention on how FHM of V-technology will work as a solution is paid for future moves.

[Finetech Japan 2017] V-technology, 738 ppi의 UHD가 구현 가능한 FHM공개

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<V-technology의 non-tenstion 구조의 fine hybrid mask>

 

5일에 개최된 Finetech Japan 2017에서 V-technology는 738 ppi의 UHD가 구현 가능한 FHM(Fine Hybrid Mask)를 공개하였다.

 
기존의 FMM(Fine Metal Mask)는 가장(架張)과 용접을 통해 만들어진다. 그러나 이러한 방식은 제조가 까다로울 뿐만 아니라, 패턴(구멍)과 자중에 의한 처짐 등과 같은 mask의 구조적인 한계로 인해 고해상도 구현이 어려웠다.

 
지난 Finetech Japan 2015에서 V-technology는 이러한 단점을 개선한 FMM의 컨셉을 공개한바 있다. 그러나 2년 후, 이번 2017에서는 컨셉을 넘어 양산 가능한 prototype의 FHM(Fine Hybrid Mask)를 공개하였다.

V-technology의 FHM은 기존 FMM 제조 방식과 다른 electroforming 방식과 nontension 구조를 채택했다. 해당 관계자는 이를 통해 FMM 무게를 기존 대비 1/10 수준까지 줄였으며, 자중에 의해 mask가 휘는 문제와 이에 따른 그림자 간섭 문제를 해결할 수 있었음을 언급하였다.

 

또한, 제조 공정 방식을 변경함으로써 FMM의 정밀도 향상시켜 738ppi의 UHD 구현이 가능해 졌음을 덧붙였다.

 

<V-technology의 수직형 증착 시스템(Vertical deposition system) 컨셉>

V-technology는 FHM와 더불어 FHM을 활용할 수 있는 수직형 증착 시스템(Vertical deposition system)의 컨셉을 선보였다. 이 시스템은 glass 기판과 FHM을 수직으로 반송 할 수 있으며, glass 기판과 FHM 각각 최대 2장까지 넣어 동시 증착이 가능하다.

 
또한, V-technology 관계자는 수직형 증착 시스템은 source와 FHM 사이의 간격을 줄여, 확산광으로 인한 step coverage와 uniformity 저하 문제를 개선하였다고 언급하였으며, 증착 장비가 수직형 타입이기 때문에 particle이 FHM 또는 glass 기판에 부착되기는 어려워 수율 향상이 가능하다고 말했다.

 

최근 소비자의 고해상도에 대한 니즈는 증가하고 있으며, 이를 충족시키기 위한 업계의 움직이 활발한 상태인 지금, V-technology의 FHM이 어떠한 해결책으로 작용될지 앞으로의 행보에 귀추가 주목된다.